4.1 原子層堆積（ALD）
ALDは、逐次的な自己制限的表面反応によって原子レベルの制御を可能にします。
📐 膜厚:
$$t = N_{cycles} \times GPC$$
ここで GPC はサイクルあたりの成長量（growth per cycle）です
💻 コード例1: ALDによる成長
# 必要環境:
# - Python 3.9+
# - matplotlib>=3.7.0
# - numpy>=1.24.0, <2.0.0
"""
例: 💻 コード例1: ALDによる成長
目的: データ可視化の手法を示す
対象: 中級
実行時間: 2〜5秒
依存関係: なし
"""
import numpy as np
import matplotlib.pyplot as plt
def ald_thickness(cycles, gpc=0.1):
return cycles * gpc
cycles = np.arange(0, 1000, 10)
thickness = ald_thickness(cycles)
plt.plot(cycles, thickness, 'b-', linewidth=2)
plt.xlabel('ALD Cycles')
plt.ylabel('Thickness (nm)')
plt.grid(True, alpha=0.3)
plt.show()4.2 その他の先端手法
電析、分子線エピタキシー、積層造形
まとめ
- ALD: 原子レベルの精密さ
- 電析: 3次元構造
- 積層造形: 複雑な形状